Characteristics of AIN Films Grown on Thermally-Nitrided Saphire Substrates

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热氮化蓝宝石衬底上生长的 AIN 薄膜的特性

DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
Applied Physics Express
影响因子：
2.3
通讯作者：
K.Ueno
K.Ueno
中科院分区：
物理与天体物理3区
文献类型：
--
作者：
Hosokawa N;Sugiura Y;Setou M;K.Ueno

文献摘要

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