RECENT ADVANCES OF FOCUSED ION BEAM TECHNOLOGY
RECENT ADVANCES OF FOCUSED ION BEAM TECHNOLOGY
复制标题
聚焦离子束技术的最新进展
DOI:
10.1016/s0168-583x(96)00387-4
复制
发表时间:
1997
影响因子:
1.3
通讯作者:
K. Gamo
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
K. Gamo