Ohmi, Kanno, Hatayama, Morikawa, Suma, Morita: "The growth technique of thin oxide films" VLSI Ultra Clean Technology symposium proceeding. 4. 205-229 (1987)
Ohmi, Kanno, Hatayama, Morikawa, Suma, Morita: "The growth technique of thin oxide films" VLSI Ultra Clean Technology symposium proceeding. 4. 205-229 (1987)
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Ohmi、Kanno、Hatayama、Morikawa、Suma、Morita：“薄氧化膜的生长技术”VLSI超洁净技术研讨会正在进行中。
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