Transparent and conducting ZnO(:Al) films deposited by simultaneous RF- and DC-excitation of a magnetron
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DOI：
10.1016/s0040-6090(97)00633-0
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发表时间：
1998-04
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
K. Ellmer;R. Cebulla;R. Wendt
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Ellmer;R. Cebulla;R. Wendt
