Hole shape control by a non-axisymmetrically polarized beam
Hole shape control by a non-axisymmetrically polarized beam
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通过非轴对称偏振光束控制孔形状
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Kikuta
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Kikuchi;A. Mizutani;H. Kikuta
