位相シフトデジタルホログラフィにおける干渉計を利用した小型位相シフト装置の計測精度の評価
位相シフトデジタルホログラフィにおける干渉計を利用した小型位相シフト装置の計測精度の評価
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相移数字全息中小型相移器件干涉仪测量精度评估
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大塚展弘,藤垣元治,村田頼信
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuki Ishizaki,Terutake Hayashi;Masaki Michihata;Yasuhiro Takaya;大塚展弘,藤垣元治,村田頼信
