Application of Resonant Ultrasound Spectroscopy to Film-Growth Monitoring on Quartz Substrate
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复制标题
共振超声光谱在石英基底薄膜生长监测中的应用
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and M. Hirao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Nakamura;N. Yoshimura;H. Ogi;and M. Hirao
