Yukio Okamoto: "A microwave-induced unmagnetized plasama source for plasma processing" Plasma Sources Sci.Technol.5. 648-652 (1996)
Yukio Okamoto: "A microwave-induced unmagnetized plasama source for plasma processing" Plasma Sources Sci.Technol.5. 648-652 (1996)
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Yukio Okamoto：“用于等离子体处理的微波感应未磁化等离子体源” Plasma Sources Sci.Technol.5。
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