Determination of electron energy distribution functions in surface wave produced plasmas. II, Measurements
Determination of electron energy distribution functions in surface wave produced plasmas. II, Measurements
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确定表面波产生的等离子体中的电子能量分布函数。
DOI：
10.1088/0022-3727/24/9/010
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发表时间：
1991
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Schluter
中科院分区：
文献类型：
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作者：
U. Kortshagen;H. Schluter
对于 pt.I，参见同上，第 24 卷，第 1585-93 页（1991 年）。通过朗缪尔探针特性的二阶导数测量表面波产生的氩等离子体的电子能量分布函数。采用主动补偿方法来避免射频电场的改变。观察到与玻尔兹曼方程先前数值解的良好一致性。
For pt.I see ibid., vol.24, p.1585-93 (1991). Electron energy distribution functions of surface wave produced argon plasmas are measured via second derivatives of Langmuir probe characteristics. An active compensation method for avoiding modifications by the RF electric field is employed. Good agreement with previous numerical solutions of the Boltzmann equation is observed.