Siナノ密着層を利用したLiNbO3とSiO2の常温ウエハ接合と低損失LNOI光導波路への応用
Siナノ密着層を利用したLiNbO3とSiO2の常温ウエハ接合と低損失LNOI光導波路への応用
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使用Si纳米粘附层进行LiNbO3和SiO2的室温晶圆键合及其在低损耗LNOI光波导中的应用
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
浅野種正
中科院分区：
文献类型：
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作者：
多喜川良;浅野種正
