Formation Mechanism and Evaluation of the Hardness of Aluminum Nitride Film using Electric Discharge Process in Liquid Nitrogen
Formation Mechanism and Evaluation of the Hardness of Aluminum Nitride Film using Electric Discharge Process in Liquid Nitrogen
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液氮放电氮化铝薄膜的形成机理及硬度评价
DOI：
10.14940/netsushori.60.89
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内海 能亜
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉田 昌史;岡村 貴;山崎 誠志;市來 龍大;内海 能亜
