Si(001)表面における高アスペクト比ホールの高温アニールによる空洞形成
Si(001)表面における高アスペクト比ホールの高温アニールによる空洞形成
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Si(001)表面高深宽比孔高温退火形成空腔
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
栗林均
中科院分区：
文献类型：
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作者：
須藤孝一;蛭田玲子;栗林均
