I. Kato et al: "Film Quality Of a a-Si : H/Si3N4 Multilyer Films And Propagate Properties Of Optical Waveguides Using The Multilayer Films"Proceedings of The 18th Symposium on Plasma Processing. 428-429 (2001)
I. Kato et al: "Film Quality Of a a-Si : H/Si3N4 Multilyer Films And Propagate Properties Of Optical Waveguides Using The Multilayer Films"Proceedings of The 18th Symposium on Plasma Processing. 428-429 (2001)
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I. Kato 等人：“a-Si : H/Si3N4 多层膜的薄膜质量和使用多层膜的光波导的传播特性”第 18 届等离子体处理研讨会论文集。
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