Semianalytical FEM model for RF sheaths in single-and dual-frequency capacitively coupled plasmas
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复制标题
单频和双频电容耦合等离子体中射频鞘的半解析有限元模型
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Denpoh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Shirafuji;K. Asano;J. Hieda;N. Saito and O. Takai;T.Shirafuji;Y.Takahashi;高橋嘉仁;T.Shirafuji;K.Denpoh
