DMA溶液を用いた圧電PVDFフィルムのウェットエッチング 特性に関する研究
DMA溶液を用いた圧電PVDFフィルムのウェットエッチング 特性に関する研究
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DMA溶液湿法刻蚀压电PVDF薄膜性能研究
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
幹 浩文
中科院分区:
文献类型:
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作者:
吉田圭吾;幹 浩文