カリウムイオンイメージセンサ用ゾルゲルガラス感応膜のCMOSプロセスの適合性の検証

カリウムイオンイメージセンサ用ゾルゲルガラス感応膜のCMOSプロセスの適合性の検証
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钾离子图像传感器溶胶-凝胶玻璃敏感膜CMOS工艺适用性验证

DOI:
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发表时间:
2020
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
阪本宏太朗,川崎健吾,堀尾智子,高橋一浩,野田俊彦,服部敏明,澤田和明
阪本宏太朗,川崎健吾,堀尾智子,高橋一浩,野田俊彦,服部敏明,澤田和明
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Shun Miura;Masataka Iwakuma;Teruo Izumi;阪本宏太朗,川崎健吾,堀尾智子,高橋一浩,野田俊彦,服部敏明,澤田和明

文献摘要

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