イオン液体を用いた電析Si薄膜形成におけるセル内加圧効果の検討

イオン液体を用いた電析Si薄膜形成におけるセル内加圧効果の検討
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检查电池内部加压对使用离子液体形成沉积硅薄膜的影响

DOI:
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发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
吉原昌幸,國本雅宏,福中康博,本間敬之
吉原昌幸,國本雅宏,福中康博,本間敬之
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
池田昌弘;安仁屋勝;吉原昌幸,國本雅宏,福中康博,本間敬之

文献摘要

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