Raman Spectroscopy under Tensile Loading for Evaluating Surface Stress on Single-Crystalline Silicon Microstructures
Raman Spectroscopy under Tensile Loading for Evaluating Surface Stress on Single-Crystalline Silicon Microstructures
复制标题
拉伸载荷下的拉曼光谱评估单晶硅微结构的表面应力
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and S. Inoue
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Komatsubara;Y. Nagai;T. N amazu;N. Naka;S. Kashiwagi;K. Ohtsuki;and S. Inoue
