Cross-sectional particle measurement in the resonance domain on the substrate through scatterometry
Cross-sectional particle measurement in the resonance domain on the substrate through scatterometry
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通过散射测量法测量基材上共振域的横截面颗粒
DOI：
10.1364/oe.25.026329
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and M. Itoh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Hoshino;N. Watanabe;S. Aoki;K. Sakurai;and M. Itoh
