Raman microprobe mapping of residual microstresses in 3C-SiC film epitaxial lateral growth
Raman microprobe mapping of residual microstresses in 3C-SiC film epitaxial lateral growth
复制标题
3C-SiC 薄膜外延横向生长残余微应力的拉曼微探针图
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Nishino
中科院分区：
文献类型：
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作者：
C.J.Lee;G.Pezzottie;Y.Okui;S.Nishino
