界面化学結合型熱ナノインプリントリソグラフィによるポリスチレン成型と電解めっきによる金薄膜のマイクロサイズ加工
界面化学結合型熱ナノインプリントリソグラフィによるポリスチレン成型と電解めっきによる金薄膜のマイクロサイズ加工
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使用界面化学键合热纳米压印光刻的聚苯乙烯成型以及使用电解电镀的金薄膜的微尺寸加工
DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
中川勝
中科院分区:
文献类型:
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作者:
永瀬康一;久保祥一;中川勝