Development of a nanomachining probe with nanometrology function -On-machine nanometrology experiment by the probe -

Development of a nanomachining probe with nanometrology function -On-machine nanometrology experiment by the probe -
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具有纳米计量功能的纳米加工探针的研制-通过探针进行机上纳米计量实验-

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Proceedings of the JSPE Spring Meeting(in Japanese)
影响因子：
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通讯作者：
Satoshi Kiyono
Satoshi Kiyono
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Wei Gao;Yasuto Kud;Satoshi Kiyono

文献摘要

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