Direct bonding of GaInAsP/InP membrane structure on SOI wafer
Direct bonding of GaInAsP/InP membrane structure on SOI wafer
复制标题
SOI 晶圆上 GaInAsP/InP 膜结构的直接键合
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Maruyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小野寺恒太;他;T.Maruyama
