T.Shinoda, S.Tanabe, N.Soga and T.Hanada: "Young's modulus of Rf-Sputtered Amorphous Thin Films in SiO_2-Y_2O_3 System at High Temperature" Thin Solid Films. (in press).
T.Shinoda, S.Tanabe, N.Soga and T.Hanada: "Young's modulus of Rf-Sputtered Amorphous Thin Films in SiO_2-Y_2O_3 System at High Temperature" Thin Solid Films. (in press).
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T.Shinoda、S.Tanabe、N.Soga 和 T.Hanada：“高温下 SiO_2-Y_2O_3 体系中射频溅射非晶薄膜的杨氏模量”固体薄膜。
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