結晶異方性ウェットエッチングによるスキャロッピングの選択除去に関する研究
結晶異方性ウェットエッチングによるスキャロッピングの選択除去に関する研究
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晶体各向异性湿法刻蚀选择性去除扇贝现象的研究
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐藤一雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
稲垣徳幸;佐々木光;Prem Pal;式田光宏;佐藤一雄
