Thickness-dependent crystal structure of epitaxial ferroelectric 0.07YO1.5-0.93HfO2 and HZO films
Thickness-dependent crystal structure of epitaxial ferroelectric 0.07YO1.5-0.93HfO2 and HZO films
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外延铁电 0.07YO1.5-0.93HfO2 和 HZO 薄膜的厚度依赖性晶体结构
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Hiroshi Funakubo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takanori Mimura;Takao Shimizu;and Hiroshi Funakubo
