回転CVDにより繊維基材にコーティングしたSiC膜の微細組織

回転CVDにより繊維基材にコーティングしたSiC膜の微細組織
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旋转CVD法在纤维基体上沉积SiC薄膜的微观结构

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
後藤 孝
後藤 孝
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
堀大樹;且井 宏和;後藤 孝

文献摘要

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