チップ増強ラマン分光法による歪Si評価
チップ増強ラマン分光法による歪Si評価
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通过芯片增强拉曼光谱评估应变硅
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小椋厚志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小瀬村大亮;富田基裕;シティノルヒダヤー・ビンティ・チェモハマドユソフ;後藤千絵;川口哲成;三澤真弓;小椋厚志
