高フィネス光共振器と結晶格子によるピコメートル分解能側長法の開発(第1報:計測原理と装置設計)

高フィネス光共振器と結晶格子によるピコメートル分解能側長法の開発(第1報:計測原理と装置設計)
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利用高精度光学谐振腔和晶格开发皮米分辨率边长法(第1部分:测量原理和装置设计)

DOI:
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发表时间:
2002
期刊:
2002年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
影响因子:
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通讯作者:
高田孝次
高田孝次
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
明田川正人;高田孝次

文献摘要

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