ポリイミド膜と圧電性PZTを利用した衝突弾性波型ダストセンサー:5年間の研究のまとめ
ポリイミド膜と圧電性PZTを利用した衝突弾性波型ダストセンサー:5年間の研究のまとめ
复制标题
使用聚酰亚胺薄膜和压电PZT的碰撞弹性波灰尘传感器:5年研究总结
DOI:
--
复制
发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
長谷川直
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
小林正規;奥平修;平井隆之;石丸亮;松本晴久;長谷川直