コンビナトリアルスパッタを用いたZnOコーティングの結晶配向性制御と低摩擦材料への応用
コンビナトリアルスパッタを用いたZnOコーティングの結晶配向性制御と低摩擦材料への応用
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利用组合溅射控制 ZnO 涂层的晶体取向及其在低摩擦材料中的应用
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
土佐正弘
中科院分区：
文献类型：
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作者：
後藤真宏;笠原章;土佐正弘
