Atom probe tomography for advanced metallization
Atom probe tomography for advanced metallization
复制标题
用于先进金属化的原子探针断层扫描
DOI：
10.1016/j.mee.2013.12.018
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发表时间：
2014
影响因子：
2.3
通讯作者：
A. Portavoce
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
D. Mangelinck;F. Panciera;K. Hoummada;M. E. Kousseifi;C. Perrin;M. Descoins;A. Portavoce
影响因子：
38.3
作者：
Allen, Jonathan E.;Hemesath, Eric R.;Lauhon, Lincoln J.
通讯作者：
Lauhon, Lincoln J.