ransport of nano-particles in capacitively coupled rf discharges without and with amplitude modulation of discharge voltage
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纳米颗粒在电容耦合射频放电中的传输（无放电电压幅度调制和有放电电压幅度调制）
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Masaharu Shiratani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kazunori Koga;Shinya Iwashita;and Masaharu Shiratani
