逆Stranski-Krastanovモードによる単結晶ZnO薄膜のスパッタリング成膜:窒素流量の影響

逆Stranski-Krastanovモードによる単結晶ZnO薄膜のスパッタリング成膜:窒素流量の影響
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使用反 Stranski-Krastanov 模式溅射沉积单晶 ZnO 薄膜:氮气流量的影响

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
板垣奈穂
板垣奈穂
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
三石遼;山下尚人;矢高功太郎;奥村賢直;鎌滝晋礼;古閑一憲;白谷正治;板垣奈穂

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