I.Umezu, T.Yamaguchi, K.Kohno, M.Inada, A.Sugimura: "Preparation of SiNx film by pulsed laser ablation in nitrogen gas ambient"Appl.Surf.Sci.. 197-198C. 314-316 (2002)
I.Umezu, T.Yamaguchi, K.Kohno, M.Inada, A.Sugimura: "Preparation of SiNx film by pulsed laser ablation in nitrogen gas ambient"Appl.Surf.Sci.. 197-198C. 314-316 (2002)
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I.Umezu、T.Yamaguchi、K.Kohno、M.Inada、A.Sugimura：“在氮气环境中通过脉冲激光烧蚀制备 SiNx 薄膜”Appl.Surf.Sci.. 197-198C。
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