三层热壁金属有机化学气相外延流场计算机模拟
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DOI：
10.13385/j.cnki.vacuum.2019.01.07
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
苏宁
中科院分区：
文献类型：
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作者：
李琳;李成明;杨功寿;胡西多;杨少延;苏宁
