GaN薄膜成長のための表面窒化Al基板製作
GaN薄膜成長のための表面窒化Al基板製作
复制标题
用于 GaN 薄膜生长的表面氮化 Al 衬底制造
DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
本田徹
中科院分区:
文献类型:
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作者:
田口悟;澤田石将士;笹谷光基;山本博美;本田徹