清野 慧, 高 偉, 金井 雅也: "干渉顕微鏡の高さ方向誤差のその場自律校正法" 精密工学会誌. 64. 241-245 (1998)
清野 慧, 高 偉, 金井 雅也: "干渉顕微鏡の高さ方向誤差のその場自律校正法" 精密工学会誌. 64. 241-245 (1998)
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Kei Seino、Wei Ko、Masaya Kanai：“干涉显微镜高度误差的原位自主校准方法”日本精密工程学会杂志 64. 241-245 (1998)。
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