Study on Sapphire CMP Slurry using Water-soluble Fullerenol as Fine Particles
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以水溶性富勒烯醇为细颗粒的蓝宝石CMP浆料的研究
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Keisuke Suzuki et. al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山口智実,古城直道,島田尚一,松森昇,尾倉秀一,廣岡大祐;Keisuke Suzuki et.al.;山口智実，古城直道，島田尚一，松森 昇，尾倉秀一，廣岡大祐;Keisuke Suzuki et.al.;田中慎二,古城直道,廣岡大祐,山口智実,松森昇,尾倉秀一;Keisuke Suzuki et. al.
