Platinum film patterning by laser lift-off using hydrocarbon film on insulating substrates
Platinum film patterning by laser lift-off using hydrocarbon film on insulating substrates
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在绝缘基板上使用碳氢化合物薄膜通过激光剥离进行铂薄膜图案化
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
X.Chen
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A.Morimoto;H.Tanimura;H.Yang;S.Ohtsubo;M.Kumeda;X.Chen
