マイクロチャネル内面への非晶質炭素膜の成膜
マイクロチャネル内面への非晶質炭素膜の成膜
复制标题
在微通道内表面沉积非晶碳膜
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
崔埈豪
中科院分区：
文献类型：
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作者：
平田祐樹;崔埈豪
