Electron beam doping (superdiffusion) technique in semiconductors at room temperature
Electron beam doping (superdiffusion) technique in semiconductors at room temperature
复制标题
室温下半导体电子束掺杂（超扩散）技术
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiroshi Fujimoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takao Wada;Hiroshi Fujimoto
