服部 健雄: "シリコン自然酸化膜" 表面技術. 45. 12-16 (1994)
服部 健雄: "シリコン自然酸化膜" 表面技術. 45. 12-16 (1994)
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服部武夫：“硅自然氧化膜”表面技术。45. 12-16 (1994)。
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