HfO2/Ge 構造における界面GeO2の電気特性への影響
HfO2/Ge 構造における界面GeO2の電気特性への影響
复制标题
界面GeO2对HfO2/Ge结构电性能的影响
DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
安田哲二
中科院分区:
文献类型:
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作者:
阿部泰宏;宮田典幸;安田哲二