Roles of SiH4 and SiF4 in growth and structural changes of poly-Si films
Roles of SiH4 and SiF4 in growth and structural changes of poly-Si films
复制标题
SiH4和SiF4在多晶硅薄膜生长和结构变化中的作用
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Seiichi Hasegawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Azadeh Haddad Adel;Takao Inokuma;Yoshihiro Kurata;Seiichi Hasegawa
