Study on the behavior of mist droplets and the mechanism in the mist Chemical Vapor Deposition
Study on the behavior of mist droplets and the mechanism in the mist Chemical Vapor Deposition
复制标题
雾气化学气相沉积中雾滴行为及机理研究
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and T. Hirao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Kawaharamura;S. Fujita;and T. Hirao
