Microplasma assisted focused electron beam nano patterning
Microplasma assisted focused electron beam nano patterning
复制标题
微等离子体辅助聚焦电子束纳米图案化
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Terashima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Miyazoe;H. Kikuchi;S. Kiriu;I. Utke;J. Michler;K. Terashima
