津田 穰: "Elementary Processes of Surface Reaction in Amorphous Silicon Film Growth" Appl.Sur.Sci.60/61. 29-38 (1992)

津田 穰: "Elementary Processes of Surface Reaction in Amorphous Silicon Film Growth" Appl.Sur.Sci.60/61. 29-38 (1992)
复制标题

Minoru Tsuda:“非晶硅薄膜生长中的表面反应的基本过程”Appl.Sur.Sci.60/61 (1992)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献