FIB/EB複合リソグラフィーによるNEB-22レジストからのカーボンナノメカニカル構造の作製
FIB/EB複合リソグラフィーによるNEB-22レジストからのカーボンナノメカニカル構造の作製
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利用 FIB/EB 组合光刻法从 NEB-22 抗蚀剂制备碳纳米机械结构
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
米谷 玲皇
中科院分区：
文献类型：
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作者：
湯浅 勇貴;前田 悦男;米谷 玲皇
