走査電子顕微鏡下における微小物体操作に向けた操作対象帯電メカニズムの実験的

走査電子顕微鏡下における微小物体操作に向けた操作対象帯電メカニズムの実験的
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扫描电子显微镜下操纵微小物体的被操纵体充电机制的实验研究

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
2007年度精密工学会春季大会講演論文集 (CD-ROM)
影响因子:
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通讯作者:
目黒寛之
目黒寛之
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
落合俊広;齋藤滋規;高橋邦夫;目黒寛之

文献摘要

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